තැන්පත් කිරීම
තීක්ෂ්ණ බුද්ධිය ලබාගෙන සංවර්ධන ක්‍රියාවලිය වේගවත් කරන්න.
තීරණාත්මක තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේ යෙදුම් සහ උපාංග ජ්‍යාමිතීන් සඳහා Advanced Energy බල සැපයුම සහ පාලන විසඳුම් ලබා දෙයි. වේෆර් සැකසුම් අභියෝග විසඳීම සඳහා, අපගේ නිරවද්‍ය බල පරිවර්තන විසඳුම් මඟින් ඔබට බල නිරවද්‍යතාවය, නිරවද්‍යතාවය, වේගය සහ ක්‍රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව ප්‍රශස්ත කිරීමට ඉඩ සලසයි.
ක්‍රියාවලි ප්ලාස්මාව වඩා හොඳින් පාලනය කිරීමට ඔබට සැබවින්ම හැකියාව ලබා දෙන පුළුල් පරාසයක RF සංඛ්‍යාත, DC බල පද්ධති, අභිරුචිකරණය කළ බල ප්‍රතිදාන මට්ටම්, ගැළපෙන තාක්ෂණයන් සහ ෆයිබර් ඔප්ටික් උෂ්ණත්ව අධීක්ෂණ විසඳුම් අපි පිරිනමන්නෙමු. ක්‍රියාවලි අවබෝධය ලබා දීමට සහ සංවර්ධන ක්‍රියාවලිය වේගවත් කිරීමට අපි වේගවත් DAQ™ සහ අපගේ දත්ත අත්පත් කර ගැනීමේ සහ ප්‍රවේශ්‍යතා කට්ටලය ද ඒකාබද්ධ කරමු.
ඔබේ අවශ්‍යතාවලට ගැලපෙන විසඳුම සොයා ගැනීමට අපගේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් ගැන තව දැනගන්න.
ඔබේ අභියෝගය
ඒකාබද්ධ පරිපථ මානයන් රටා කිරීමට භාවිතා කරන පටලවල සිට සන්නායක සහ පරිවාරක පටල (විද්‍යුත් ව්‍යුහයන්), ලෝහ පටල (අන්තර් සම්බන්ධතාවය) දක්වා, ඔබේ තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා පරමාණුක මට්ටමේ පාලනයක් අවශ්‍ය වේ - එක් එක් විශේෂාංගය සඳහා පමණක් නොව මුළු වේෆරය පුරාම.
ව්‍යුහයෙන් ඔබ්බට, ඔබේ තැන්පත් කරන ලද පටල උසස් තත්ත්වයේ තිබිය යුතුය. ඒවාට අපේක්ෂිත ධාන්‍ය ව්‍යුහය, ඒකාකාරිත්වය සහ අනුකූල ඝණකම තිබිය යුතු අතර හිස්-නිදහස් විය යුතුය - එය අවශ්‍ය යාන්ත්‍රික ආතතීන් (සම්පීඩිත සහ ආතන්ය) සහ විද්‍යුත් ගුණාංග සැපයීමට අමතරව වේ.
සංකීර්ණත්වය වැඩි වෙමින් පවතී. ලිතෝග්‍රැෆි සීමාවන් (උප-1X nm නෝඩ්) ආමන්ත්‍රණය කිරීම සඳහා, ස්වයං-පෙළගැස්වූ ද්විත්ව සහ හතරැස් රටා ශිල්පීය ක්‍රම මඟින් සෑම වේෆරයකම රටාව නිපදවීමට සහ ප්‍රතිනිෂ්පාදනය කිරීමට ඔබේ තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය අවශ්‍ය වේ.
අපගේ විසඳුම
ඔබ වඩාත් තීරණාත්මක තැන්පතු යෙදුම් සහ උපාංග ජ්‍යාමිතීන් යොදවන විට, ඔබට විශ්වාසදායක වෙළඳපොළ ප්‍රමුඛයෙකු අවශ්‍ය වේ.
Advanced Energy හි RF බල සැපයුම සහ අධිවේගී ගැලපුම් තාක්ෂණය මඟින් සියලුම උසස් PECVD සහ PEALD තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍ය බල නිරවද්‍යතාවය, නිරවද්‍යතාවය, වේගය සහ ක්‍රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව අභිරුචිකරණය කිරීමට සහ ප්‍රශස්ත කිරීමට ඔබට හැකියාව ලැබේ.
ඔබේ වින්‍යාසගත කළ හැකි චාප ප්‍රතිචාරය, බල නිරවද්‍යතාවය, වේගය සහ අවශ්‍ය ක්‍රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව, PVD (ස්පුටරින්) සහ ECD තැන්පත් කිරීමේ ක්‍රියාවලීන් සියුම් ලෙස සකස් කිරීමට අපගේ DC උත්පාදක තාක්ෂණය භාවිතා කරන්න.
ප්‍රතිලාභ
● වැඩිදියුණු කළ ප්ලාස්මා ස්ථායිතාව සහ ක්‍රියාවලි පුනරාවර්තන හැකියාව අස්වැන්න වැඩි කරයි
● සම්පූර්ණ ඩිජිටල් පාලනයක් සහිත නිරවද්‍ය RF සහ DC බෙදා හැරීම ක්‍රියාවලි කාර්යක්ෂමතාව ප්‍රශස්ත කිරීමට උපකාරී වේ.
● ප්ලාස්මා වෙනස්කම් සහ චාප කළමනාකරණයට වේගවත් ප්‍රතිචාරය
● අනුවර්තන සංඛ්‍යාත සුසර කිරීම සමඟ බහු මට්ටමේ ස්පන්දනය මඟින් එච් අනුපාත තේරීම වැඩි දියුණු කරයි
● උපරිම ක්‍රියාකාරී කාලය සහ නිෂ්පාදන කාර්ය සාධනය සහතික කිරීම සඳහා ගෝලීය සහාය ලබා ගත හැකිය.