MSB ශ්‍රේණි මධ්‍යම සංඛ්‍යාත ස්පුටරින් බල සැපයුම
-
MSB ශ්‍රේණි මධ්‍යම සංඛ්‍යාත ස්පුටරින් බල සැපයුම
RHH ශ්‍රේණියේ RF බල සැපයුම පරිණත RF උත්පාදන තාක්‍ෂණය මත රඳා පවතින අතර පාරිභෝගිකයින්ට වැඩි බලයක්, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ වේගවත් ප්‍රතිචාරයක් සහිත RF බල සැපයුමක් ලබා දේ.අදියර සමඟ, ස්පන්දනය පාලනය කළ හැකි, ඩිජිටල් සුසර කිරීම සහ අනෙකුත් කාර්යයන් සැකසිය හැක.අදාළ ක්ෂේත්‍ර: ප්‍රකාශ වෝල්ටීයතා කර්මාන්තය, පැතලි පැනල් ප්‍රදර්ශන කර්මාන්තය, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය, රසායනික කර්මාන්තය, රසායනාගාරය, විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ, නිෂ්පාදන, ආදිය.
අදාළ ක්‍රියාවලි: ප්ලාස්මා වැඩි දියුණු කරන ලද රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම (PECVD), ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම, ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම, ගුවන්විදුලි සංඛ්‍යාත අයන ප්‍රභවය, ප්ලාස්මා විසරණය, ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය ඉසීම, ප්‍රතික්‍රියාශීලී ස්පුටරින් යනාදිය.