TPM5 ශ්රේණියේ බල පාලකය මොඩියුල සැලසුම් අදහස අනුගමනය කරන අතර ඇතුළත පරිපථ 6 ක් දක්වා ඒකාබද්ධ කරයි.නිෂ්පාදන ප්රධාන වශයෙන් විසරණ ඌෂ්මක, PECVD, epitaxy ඌෂ්මක ආදියෙහි භාවිතා වේ.